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尹志尧 中微半导体设备公司董事长兼执行长

作者:SICA 发布日期:2012年8月9日 星期四

尹志尧博士现任中微半导体设备公司董事长兼执行长。在美国20年致力于等离子体刻蚀设备的开发及产品管理。是几代等离子体刻蚀技术及设备的主要发明人和工业化应用的推动者。在技术和产品开发中获80多项美国专利。2004年8月他带领一支团队回国创建了上海中微半导体设备公司。在几年中开发出12英吋65nm-40nm技术的等离子体刻蚀设备,并可加工32纳米到28纳米的芯片。产品已进入中国和亚洲八家先进的芯片生产线,并得到第一流的国际芯片生产线持续的重复性订货。为50年来第一次在我国开发的半导体高端设备全面打入国际高端市场及冲破美、日本长期垄断的地位打开了一条自主发展之路,为我国集成电路设备和产业的发展作出了杰出的贡献。

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